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Alicat助推Inchfab納米級制造系統(tǒng)
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Alicat助推Inchfab納米級制造系統(tǒng)

在當(dāng)今連接日益緊密的世界中,對超出常規(guī)電子產(chǎn)品的新型微米和納米級設(shè)備的需求不斷增長。這些器件通過IC制造工具制造時往往需采用非標(biāo)準(zhǔn)工藝, 而依賴于微米和納米制造技術(shù)設(shè)備的生產(chǎn)非常昂貴且耗時。

 

在過去的幾年中,Inchfab一直致力于開發(fā)超低成本微細加工和納米加工設(shè)備的完整平臺,更經(jīng)濟地生產(chǎn)電子、機械、化學(xué)和生物設(shè)備。Inchfab將先進的處理能力與大尺寸的基板分離,Inchfab已經(jīng)證明,使用較小的基板也可以提高性能,并優(yōu)于大尺寸基板。

 

 

 

遇到的問題

INCHFBA

 

在基板制造過程中,所需的薄膜材料需用化學(xué)氣相淀積來制備?;瘜W(xué)氣相淀積是把各成分元素以及摻雜劑都以氣體形式導(dǎo)入反應(yīng)爐,在晶圓表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成所需的固態(tài)薄膜并淀積在其表面。

 

在化學(xué)氣相沉積中,真空是必須的,因為在有大氣氣體存在的情況下,化學(xué)反應(yīng)是不起作用的。

 

研發(fā)意味著測試,允許障礙和反應(yīng)性氣體的新配方,可能多次改變流量比和氣體,且所有的必須同時保持準(zhǔn)確,氣體流量控制的準(zhǔn)確性不言而喻。

 

 

解決方案

ALICAT

 

Alicat為幫助Inchfab克服這一挑戰(zhàn)提供了的準(zhǔn)確性、響應(yīng)能力和控制氣體流量需求。Alicat半導(dǎo)體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器為Inchfab提供了一個性能、可靠性和價格之間無需折衷的解決方案,這使其成為Inchfab系統(tǒng)的選擇。

 

Alicat半導(dǎo)體MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用了層流差壓(DP)技術(shù),可同時測量98種氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,并進行全溫度和壓力補償。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制響應(yīng)時間為50-100毫秒。Alicat質(zhì)量流量控制器以驚人的準(zhǔn)確度和響應(yīng)時間大大提高實驗質(zhì)量。

Inchfab 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中使用Alicat控制器的流程圖

Alicat很高興能成為這個重要的挑戰(zhàn)的一部分,Alicat的質(zhì)量流量控制器適應(yīng)性使得化學(xué)氣相沉積越來越好,助推許多未實現(xiàn)的技術(shù)早日實現(xiàn)。

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